W12 是针对晶圆级精密点胶工艺开发的高稳定性精度的设备,可支持Underfill、Coating等一系列晶圆级点胶工艺。主要特性优势:高精密大理石平台,支持12英寸晶圆、匹配晶圆级封装环境、兼容国际半导体通讯协议、配置AMHS机械手接口、匹配信息化管理要求、匹配温度管控系统、兼容多种点胶系统等
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