W12 – 晶圆Wafer点胶机

W12 是针对晶圆级精密点胶工艺开发的高稳定性精度的设备,可支持Underfill、Coating等一系列晶圆级点胶工艺。主要特性优势:高精密大理石平台,支持12英寸晶圆、匹配晶圆级封装环境、兼容国际半导体通讯协议、配置AMHS机械手接口、匹配信息化管理要求、匹配温度管控系统、兼容多种点胶系统等

W12晶圆Wafer点胶机
W12晶圆Wafer点胶机
W12晶圆Wafer点胶机

W12系统特点,功能及产品规格

  • 4轴(XYZ+R)配置高精密直线模组和伺服模组,搭配解析度0.5微米的光栅尺定位。

  • 高稳定性的基座,采用高精密大理石材质。

  • SMEMA标准可自动化串线或单独作业。

  • Windows系统工业级电脑操控,使用NSW自主研发软体简单快捷的操作设备。

  • 600mm x 400mm 移动行程,有效行程 210mm x 210mm 可支持 12英寸 wafer。

  • 智能影像位置校正系统,可自动识别点胶位置。

  • 搭配光谱共焦测试仪器,可识别高反射、透明的材料,自动校正点胶高。

  • 自动辅助功能:包括指头位置校正、清洁胶针等功能

  • 可增加针头加热、阀体恒温、胶量称重等辅助功能配合工艺需求。

  • 可配置点胶状况实时监控功能, 及时发现点胶异常。

  • 模组化电控、方便后期维护。

Wafer向NSW点胶机的转移顺序

Wafer从后方装载

Wafer从后方装载

Wafer从侧面装载

Wafer从侧面装载
W12尺寸参数

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